음의 온도 계수 서미스터 요소는 일반적인 온도 측정 및 제어, 널리 항공 우주, 해양 및 민간 응용 프로그램에서 사용되는 높은 정밀도, 높은 감도, 좋은 안정성, 낮은 비용, 긴 수명과 온도 측정입니다. 전자 산업으로 정보 기술의 발전은 현대 전자 정보 시스템은 소형화와 모 놀리 식 집적 방향으로 향한다. 벌크 세라믹 서미스터에서 NTC 서미스터 박막 온도 센서에 비해 집적화, 소형화를 실현하기 쉽다 반도체, 집적 회로, 마이크로 나노 디바이스 및 기타 분야의 목표는 광범위한 응용 가능성을 가지고 있습니다.
물리학 실험 재료 이화학 전용 연구팀들은 오이 막 NTC 서미스터 재료 및 개발. 기술, 펄스 레이저 증착 기술의 구성 요소 중국 아카데미의 신장 기술 연구소, 레이저 분자 빔 에피 택시는 화학 용액 증착 기술을 사용한 막 좋은 NTC 서미스터 바람직한 방향을 갖는 후있다. 또한, 막 재료의 장치를 달성하기 위해, 장단점 여러 연구자의 팀은 필름 제조 기술에 비해 음의 온도 안정성을 갖는 마그네트론 스퍼터링을 선택한 박막 재료의 열적 특성 계수.
연구는 니켈 - 망간 - 코발트 전자 전이 주파수 마그네트론 스퍼터링 법을 사용하여 막 두께와 관련된 저항 및 온도 특성의 일 박막 NTC 서미스터 온도 계수를 제조하였습니다. 홀 효과 측정 결과를 보여 두께가 693nm 미만인 때, 재료 1 / V0 및 두께가 693nm 이상인 경우 αT = 303K는 두께가 증가함에 따라 증가되고, 재료 1 / V0 αT = 303K, 두께가 증가함에 따라 감소한다. 그 결과를 보여, 그 막 두께는 265- 일 때 필름의 두께가 693-887nm 증가 할 때 693nm이 MN3의 막 + / Mn4와 + 비 상당한 감소는 + / Mn4와 + 비는 MN3 오면서. MN3 + / Mn4와 비율이 직접 나타내는 물질의 온도 특성에 영향을 + 그 두께 온도 변화에 열에 민감한 재료의 필름 감도에 영향을 미친다. 연구 결과는 '응용 표면 과학 "(적용 표면 과학)에 발표되었다.
이 작업을 수행하기에 R & D 프로젝트의 초점이다 신장 물리 화학 '칩 서미스터 온도 센서 해양 접합 통합 기술 기반의'과학 및 공학에 대한 중국 협회 연구 작업의 이론적 기초가 젊은 재능, 젊은 학자 과학의 서부 중국 과학원 리프트 마련 B-지원 사업 등이있다.
