웨이퍼 캐리어 시스템을 위해 설계된 AMEC MOCVD를 포함하는 웨이퍼 캐리어를 이용하여 특허의 Veeco 금속 유기 화학 기상 증착 시스템 (MOCVD)을 사용하여 유리 염기 SGL에 판매 금지.
의 Veeco의 회장 겸 CEO 인 존 R. 필러는 말했다 : '판결은 지적 재산권의 Veeco 지불주의의의 Veeco 지적 재산권과 글로벌 특허 포트폴리오 힘을 긍정 단단히을 포함하여 연구 개발에서의 상당한 투자를 유지한다. 미국, 유럽 및 아시아, 특히 중국에 특허를 보유하고 있습니다.
이 판결은 즉시 적용, SGL는 웨이퍼 캐리어에게의 Veeco의 특허 기술을 사용하여화물의 Veeco의 명시 적 허가의 경우되지 않았습니다 금지합니다. 이것은 또한 그 SGL 모든 AMEC MOCVD 시스템을위한 웨이퍼 캐리어를 제공 금지 것을 의미한다.
또한 법원은 'Veeco의 MOCVD 웨이퍼 캐리어 특허 SGL의 침해 및 특허 유효으로 사용되는 원자로 기지'가능성의 인식에 대한 반대, Veeco의 회사에 SGL의 주장에도 불구하고 그는 위대한. SGL 주장했던 것을, 판결 웨이퍼 캐리어는 AMEC의 사양에 기초된다. 지배 디스플레이는 AMEC는 Veeco의 지적 재산권을 준수하지 않는다.
특허 침해의 배심원 평결이 제정되기 전에 금수 조치가. 매우 엄격한 법적 요구 사항을 가지고 따라서,이 결정은 명확의 Veeco 지적 재산권의 SGL과 AMEC 침해의 성격을 보여주기 때문에 특허의 경우, 예비 금지 명령은 매우 드문 .
Veeco는 2017 년 4 월 12 일 뉴욕 동부 지방의 연방 법원에서 SGL Carbon, LLC 및 SGL Carbon SE에 대한 특허 침해 소송을 제기했습니다. SGL은 기초없는 MOCVD 시스템을위한 웨이퍼 캐리어를 제조합니다. 임시 금지 명령 이외에, Veeco는 영구 금지 및 재정적 보상을 모색 중입니다.
또한 Veeco는 11 월 1 일 ALLOS Semiconductors (ALLOS)와의 전략적 사업을 통해 청색 / 녹색 마이크로 LED 생산을위한 200mm GaN 잉곳을 시연했다고 발표했습니다. 독점적 인 에피 택셜 기술을 Propel 단일 웨이퍼 MOCVD 시스템으로 이전하여 기존 실리콘 생산 라인에서 마이크로 LED를 생산할 수있게했습니다.
사장 부르크하르트 알로스 '를 사용 추진 반응 챔버, 우리는 MOCVD 기술을 가질 것, 높은 수율을 달성 할 수있는 질화 갈륨 에피 택셜 기술은 마이크로 LED 소자의 제조 200 mm 실리콘 생산 라인의 모든 요건을 충족' Slischka 그렇게 말합니다.
"한 달도 안되게 우리는 Propel에서 우리의 기술을 검증했으며 30 미크론 미만의 뒤틀림, 높은 수정 품질 및 우수한 두께 균일 성을 가진 균열이없는 비 리플 로우 웨이퍼를 얻었습니다. Veeco를 통해 ALLOS는 마이크로 LED 산업의 기술 발전을 기대하고 있습니다. "
마이크로 LED 디스플레이 기술<30x30平方微米的红, 绿和蓝(RGB)无机LED组成, 这些LED被转化为显示屏背板, 以形成亚像素. 与有机LED (OLED) 和液晶显示 (LCD) 相比, 这些高效的LED直接发射功耗更低, 却可以为移动显示器, 电视和可穿戴式计算机提供优异的亮度和对比度. Micro-LED 的制造要求优质, 均匀的外延晶圆, 以满足显示屏的产量和成本控制的要求.
"Veeco의 TurboDisc 기술은 경쟁사의 MOCVD 플랫폼보다 더 큰 프로세스 창을 제공하므로 Propel은 우수한 필름 품질을 달성하면서 일급 균일 성을 제공합니다."라고 Veteco 수석 부사장 겸 MOCVD 운영 본부장 Peo Hansson 박사는 말했습니다.
Veeco의 MOCVD 전문 기술과 ALLOS의 질화 갈륨 웨이퍼 (Gallium Nitride Epitaxial Wafer) 기술의 결합으로 고객들은 새로운 시장에서 새로운 응용 분야를 열 수있는 저가형 마이크로 LED를 개발할 수있게되었습니다. "