Figura: el silicio en la 'refinación' en la oblea terminada de 100 a 200 procesos, no en polvo, de lo contrario, puede llegar a ser en vano. Fuente: Eastern IC
Un producto, desde el laboratorio hasta la fábrica, el camino más difícil es un piloto. Para un alto costo de bajo rendimiento o incluso sin salida, para muchos de los líderes de la tecnología de laboratorio, el período de prueba es como una luz no puede ver la oscuridad Canal, sin ganancias y mercado para mantener el reportero ayer llegó a Jiading Industrial Zone en el norte de la primera línea piloto 'más allá de Moore' de China, visite este decidido a romper nuestra industria de semiconductores 'piloto punto ciego' plataforma de innovación de I + D.
Planta "flotante" ultra limpia
Póngase ropa limpia antiestática, zapatos, guantes, máscaras, después de que la sala de viento será todo el polvo que sopla todo el cuerpo ... ... todos los días, el director de ingeniería de tecnología del Instituto de Investigación de la Industria de Micro Tecnología de Shanghai, Xu Yuanjun y sus colegas, Se vistió como un "pingüino blanco" ultra limpio para ingresar a la línea piloto de investigación y desarrollo de 8 pulgadas "más allá de Moore", casi 5000 metros cuadrados de diez salas limpias, que requieren un minuto por pie cúbico, más de 0,2 micras de micro ¡Polvo menos de 10! Super clean room un total de cuatro áreas, a saber, el área de litografía, área de película, área de grabado y área de difusión. Wafer en el 'refinado' en una oblea de 100 a 200 procesos, no Polvo contaminado, o puede acabar en nada.
Para ello, todo el diseño de la planta cuesta considerar: 8.8 metros en el segundo piso están divididos en tres capas, toda la 'línea piloto' del equipo principal parece 'flotante' en la capa intermedia: capas superiores e inferiores invisibles, Además de colocar el suministro de tuberías de gas y productos químicos, pero también lleno de instalaciones de aire 'limpieza'.
'8 pulgadas' línea de producción líder internacional
Tal excelencia, sólo para nuestro país en el 'Más de Moore campo realmente una diferencia Shanghai Instituto de Tecnología micro 8 pulgadas director de I + línea piloto D, vicepresidente de operaciones de Jay recorrido casa, señalando silicio brillante, familiar: 'un 8 diámetro de la oblea pulgadas de 20 cm, la distribución de unos pocos cientos a decenas de miles de piezas, que van desde componentes. 'Usted sabe,' más de las áreas de Moore, la industria está también generalmente por medio de una línea de producción de 6 pulgadas, línea piloto de Shanghai se ventiló El líder internacional pero pocas personas interesadas en el '8 pulgadas'.
En esta nueva línea de prueba, cada "Más de Moore uno tiene una convicción: festivo, la ciencia diecinueve grande de China y la innovación deben ser de la 'ejecutar ahora' a 'plomo', de vanguardia enlace piloto de la tecnología Atrévete a primero
En todo el país más allá del status quo áreas Moore, después de años de investigación teórica y validación de la tecnología, pero la aplicación y la producción de plataforma práctica seriamente fuera de línea. Esto se deriva de una larga cadena de la tecnología de sistemas micro-electromecánicos involucrado en el desarrollo del producto, su característica 'no estándar' hace que la investigación y la innovación Y la coincidencia entre la producción no es alta, la necesidad de un período largo de preinclusión.
A través de la investigación y el desarrollo para probar 'circuito cerrado'
Un nodo importante en el mes anterior, como la construcción de Shanghai rama Center 'cuatro vigas de ocho columnas' en, primer foco de China en 'Más de Moore campo, 8 pulgadas de línea piloto para el debut sistemas micro-electromecánicos en la industria de semiconductores doméstica condujo a una El campo no es un pequeño "terremoto de innovación": desde la investigación y el desarrollo iniciales hasta la última prueba, se espera que el 'ciclo cerrado' esté terminado.
Un mes, 'sobre la línea piloto de Moore en el iluminado, las posiciones del personal científico y técnico con la acción práctica para cumplir con el XIX celebrado: el final de este mes está a punto de completar el primer lote de tensión del sensor de temperatura del producto. Producción mensual de línea piloto de 3000 obleas, para muchos de los laboratorios en la tecnología de sensores de vanguardia, poniendo un mercado a la 'carretera brillante'.