그림 : 완성 된 웨이퍼에 '정련'한 실리콘 먼지가 아닌 100 ~ 200 개의 공정, 그렇지 않으면 파손될 수 있음 출처 : Eastern IC
실험실에서 공장으로가는 가장 어려운 방법은 조종사입니다. 저출력 또는 고 출력의 고비용의 경우 실험실 기술의 최전선 중 많은 곳에서 시험 기간은 빛이 어두운 곳을 볼 수없는 것과 같습니다 채널, 어제 기자를 유지하는 이익과 시장은 중국 최초의 'Moore'파일럿 라인의 북쪽에있는 Jiading Industrial Zone에 와서 반도체 산업의 파일럿 맹검 R & D 혁신 플랫폼을 뚫 으려고 결정했습니다.
울트라 깨끗한 '떠 다니는'식물
바람 방이 모든 몸을 불고 모든 먼지가 될 정전기 방지 깨끗한 옷, 신발, 장갑, 마스크를 입어 ... ... 매일 MEMS 기술 공학 이사 쑤 Yuanjun과 그의 동료의 상해 마이크로 기술 산업 연구소는 아르 무어의 R & D 파일럿 라인 인 8 인치 무인 R & D 파일럿 라인에 들어가기 위해 울트라 클린 화이트 펭귄으로 몸을 단장했습니다. 입방 피트 당 1 분, 0.2 마이크론 마이크로 먼지는 10 개 미만! 슈퍼 클린 룸은 리소그래피 영역, 필름 영역, 에칭 영역 및 확산 영역의 총 4 개 영역으로 구성되며, 100 ~ 200 개 공정의 웨이퍼로 '정련'됩니다. 오염 된 먼지, 또는 제로가 될 수 있습니다.
이를 위해 전체 플랜트 설계 비용을 고려해야합니다 - 2 층의 8.8 미터는 3 개의 레이어로 나뉘며 주요 장비의 전체 '파일럿 라인'은 중간 레이어에서 보이지 않는 상단 및 하단 레이어에 '떠 다니는'것처럼 보이며, 이외에도 가스 및 화학 약품 배관의 공급뿐만 아니라 '청소'공기 시설로 가득차 있습니다.
국제 시장을 선도하는 '8 인치'생산 라인
상하이 마이크로 테크놀로지 산업 연구소 (Shanghai Micro Technology Industry Research Institute) 8 인치 연구 개발 파일럿 라인 디렉터, 지아 지 (Jiajie) 운영 담당 부회장은 스파클링 실리콘에 대해 다음과 같이 지적했다. 20cm의 인치 웨이퍼 직경, 다른 구성 요소의 수만에 수천의 분포. '무어 분야 넘어, 산업은 또한 일반적으로 6 인치 생산 라인을 사용하는 것을 알기 위해 상하이 파일럿 라인은 밝습니다 국제 지도자지만 '8 인치'에 관심이있는 사람은 거의 없습니다.
이 새로운 테스트 라인에서 무어의 모든 사람들은 마음에 대한 믿음을 가지고 있습니다 : 축제의 19 번째, 중국의 과학 혁신은 파일럿 프로그램의 최첨단 기술을 '선도'로 '실행'해야합니다. 처음으로 감히
이론적 연구 및 기술 검증의 년을 통해, 실용적인 응용 프로그램 및 생산 플랫폼은 마이크로 전자 기계 시스템 제품 연구 및 개발에서 비롯된 라인이 심각하게 벗어난 기술의 긴 체인을 포함, 자사의 '비표준'특성은 R & D에 혁신을 만들어 그리고 생산 사이의 일치는 높지 않으며, 장기간에 걸친 기간이 필요합니다.
'폐쇄 루프'테스트를위한 연구 개발을 통해
지난달 상하이 과학 기술 센터 (Shanghai Science and Technology Center)의 '4 대 기둥 (four pillars)'건설의 중요한 노드 중 하나 인 중국 최초의 마이크로 전자 기계 시스템 용 8 인치 파일럿 라인은 중국의 '무어 위'분야에서 최초로 시작되었으며, 현장은 작은 '혁신 지진'이 아닙니다. 초기 연구 및 개발에서 늦은 테스트까지 '폐쇄 루프'가 통과 될 것으로 예상됩니다.
한 달, 밝게 빛나는 무어 (Moore) 파일럿 선과 과학 기술 인력의 위치가 19 일을 맞이하는 실질적인 조치로 개최되었습니다. 이번 달 말에는 제품 온도 센서 장력의 첫 번째 배치가 완료 될 예정입니다. 최첨단 센서 기술의 많은 실험실에서 3000 개의 웨이퍼 파일럿 라인을 월간 생산하여 '화려한 도로'에 시장을 내놓았습니다.