चित्रा: परिष्कृत वेफर 100 से 200 प्रक्रियाओं में सिलिकॉन, धूल नहीं, अन्यथा यह शून्य हो सकता है। स्रोत: पूर्वी आईसी
प्रयोगशाला से फैक्टरी तक का एक उत्पाद, सबसे कठिन रास्ता तय करना एक पायलट है। प्रयोगशाला प्रौद्योगिकी के क्षेत्र में अधिकांश के लिए उच्च लागत वाले कम उत्पादन या यहां तक कि कोई उत्पादन नहीं, पायलट अवधि एक अंधकारमय प्रकाश की तरह नहीं है चीन के पहले 'मूर' पायलट लाइन के उत्तर में चीन के उत्तर में चायदान के लिए कोई लाभ और बाजार कल नहीं आया, यह हमारे अर्धचालक उद्योग के 'पायलट अंधा जगह' आर एंड डी नवाचार मंच के माध्यम से तोड़ने के लिए निर्धारित है।
अल्ट्रा क्लीन 'फ्लोटिंग' संयंत्र
विरोधी स्थैतिक साफ कपड़े, जूते, दस्ताने, मास्क, हवा कमरे में स्नान पहनने के बाद धूल के शरीर में उड़ ...... सारा दिन, माइक्रो SCIENTIFIC पर की शंघाई संस्थान के MEMS प्रौद्योगिकी इंजीनियरिंग तकनीकी निदेशक और उनके सहयोगियों कर रहे हैं के बाद ultraclean के रूप में पोशाक 'सफेद पेंगुइन, 8 इंच में प्रवेश के लिए' दाढ़ 'परीक्षण लाइन में विकसित परे, 5000 वर्ग मीटर में एक मिनट के अंतरिक्ष प्रति दस साफ कमरे आवश्यकताओं सूक्ष्म घन फीट, एक से अधिक 0.2 माइक्रोन कम से कम 10! सुपर स्वच्छ चार क्षेत्रों के कुल, फोटोलिथोग्राफी पतली झिल्लियों क्षेत्र के प्रत्येक क्षेत्र, और प्रसार क्षेत्र कमरों धूल नक्काशी क्षेत्र सिलिकॉन वेफर प्रक्रिया में 'हो गई' 100-200 वेफर समाप्त होने पर, नहीं है धूल दूषित है, या यह ध्वस्त हो सकता है।
इसके अंत में, पूरे संयंत्र डिजाइन पर विचार करने की लागत - दूसरी मंजिल पर 8.8 मीटर की दूरी तीन परतों में विभाजित है, मुख्य उपकरण की पूरी 'पायलट लाइन' मध्यम परत में 'फ्लोटिंग' लगता है - अदृश्य ऊपरी और निचली परतें, गैस और रसायन पाइपिंग की आपूर्ति बिछाने के अलावा, लेकिन 'सफाई' हवा सुविधाओं से भी भरा
'8 इंच' उत्पादन लाइन अग्रणी अंतरराष्ट्रीय
'एक 8: इस तरह की उत्कृष्टता, केवल' अधिक मूर से 'फ़ील्ड में हमारे देश के लिए वास्तव में एक फर्क माइक्रो प्रौद्योगिकी 8 इंच अनुसंधान एवं विकास पायलट लाइन निदेशक, संचालन जे घर के दौरे के उपाध्यक्ष, ओर इशारा करते हुए चमकदार सिलिकॉन के शंघाई संस्थान, परिचित 20 सेमी की इंच वेफर व्यास, टुकड़े की हजारों करने के लिए कुछ सौ का वितरण, घटकों से लेकर। 'तुम्हें पता है,' मूर 'क्षेत्रों, उद्योग भी आम तौर पर एक 6 इंच उत्पादन लाइन का उपयोग कर रहा से अधिक, शंघाई पायलट लाइन भेजा गया था लेकिन दुनिया की अग्रणी Shaorenwenjin 'आठ इंच'।
अत्याधुनिक प्रौद्योगिकी पायलट लिंक उत्सव उन्नीस बड़े, चीन के विज्ञान और नवाचार से 'लीड' को 'अब चलाने के' होना चाहिए,: इस नए परीक्षण लाइन में, हर एक 'मूर की तुलना में अधिक' सजा है पहले की हिम्मत
सैद्धांतिक अनुसंधान और तकनीकी सत्यापन के वर्षों के दौरान, व्यावहारिक अनुप्रयोग और उत्पादन मंच लाइन से बाहर गंभीरता से हैं, जो माइक्रोइलेक्ट्रोमैनैनीकल सिस्टम उत्पाद अनुसंधान और विकास से शुरु हुआ है, इसमें प्रौद्योगिकी की एक लंबी श्रृंखला शामिल है, इसकी 'गैर-मानक' विशेषताएं आर एंड डी के नवाचार बनाती हैं और उत्पादन के बीच का मुकाबला ज्यादा नहीं है, लंबी अवधि की अवधि की आवश्यकता है।
'बंद लूप' का परीक्षण करने के लिए अनुसंधान और विकास के माध्यम से
पिछले महीने शंघाई साइंस एंड टेक्नोलॉजी सेंटर के 'चार खंभे' के निर्माण में महत्वपूर्ण नोड्स में से एक, चीन की पहली 8 इंच पायलट लाइन माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम के लिए चीन में 'मूर से परे' क्षेत्र में पहली थी। घरेलू अर्धचालक उद्योग में, फ़ील्ड एक छोटा 'नवाचार भूकंप' नहीं है - प्रारंभिक अनुसंधान और विकास से देर से परीक्षण 'बंद लूप' के माध्यम से होने की उम्मीद है।
एक महीने, 'मूर' पायलट लाइन पर चमकीले ढंग से प्रकाशित, वैज्ञानिक और तकनीकी कर्मियों की स्थिति उन्नीसवीं को पूरा करने के लिए व्यावहारिक कार्रवाई के साथ: इस महीने के अंत उत्पाद तापमान संवेदक तनाव का पहला बैच पूरा करने वाला है। एक बार सफल, यह अत्याधुनिक सेंसर तकनीक में कई प्रयोगशालाओं के लिए, 'शानदार मार्ग' के लिए एक बाजार बिछाने के लिए 3000 वेफर पायलट लाइन का मासिक उत्पादन।