Figure: silicium dans le «raffinage» dans la plaquette finie 100 à 200 processus, pas de poussière, sinon il peut arriver à rien Source: Eastern IC
Un produit, du laboratoire à l'usine, le plus difficile à faire est un pilote.Pour un coût élevé de sortie faible ou même pas de sortie, pour beaucoup de l'avant-garde de la technologie de laboratoire, la période d'essai est comme une lumière ne peut pas voir le noir Canal, aucun profit et marché pour maintenir le journaliste est venu à la zone industrielle de Jiading dans le nord de la première ligne pilote au-delà de Moore, a décidé de percer notre plate-forme d'innovation R & D de l'industrie des semi-conducteurs.
Usine «flottante» ultra propre
Mettez des vêtements, des chaussures, des gants, des masques antistatiques, après que la salle de vent sera toute la poussière qui souffle tout le corps, chaque jour, Xu Yuanjun et ses collègues, l'institut de recherche de technologie micro de technologie de S'habiller comme un pingouin blanc ultra propre pour entrer dans la ligne pilote de 8 pouces «au-delà de Moore» R & D, près de 5000 mètres carrés de dix salles blanches, nécessitant une minute par pied cube d'espace, plus de 0,2 micron micro Poussière inférieure à 10! Super salle blanche un total de quatre zones, à savoir la zone de lithographie, la zone de film, la zone de gravure et la zone de diffusion.Plaque dans le «raffinage» dans une plaquette de 100 à 200 processus, non Poussière contaminée, ou peut ne rien produire.
À cette fin, l'ensemble des coûts de conception de l'usine à considérer - 8,8 mètres sur le deuxième étage est divisé en trois couches, toute la «ligne pilote» de l'équipement principal semble «flottant» dans la couche intermédiaire - invisibles couches supérieures et inférieures, En plus de la pose de la tuyauterie de gaz et de produits chimiques, mais aussi rempli d'installations de purification de l'air.
'8 pouces' ligne de production leader international
Cette excellence, seulement pour notre pays dans le «Plus de Moore domaine font vraiment une différence de Shanghai Institute of Technology Micro 8 pouces de R & D de la ligne pilote, vice-président des opérations Jay tour de la maison, en montrant silicium brillant, familier: « un 8 pouces de diamètre de plaquette de 20 cm, la distribution de quelques centaines à des dizaines de milliers de pièces, allant de composants. 'Vous savez, plus que dans les zones de Moore, l'industrie utilise également généralement une ligne de production de 6 pouces, ligne pilote de Shanghai a été flashé Le leader international mais peu de personnes intéressées par les '8 pouces'.
Dans cette nouvelle ligne de test, tout le monde «au-delà de Moore» a une croyance dans le cœur: festive du XIXe siècle, l'innovation scientifique de la Chine doit être «dirigé» pour «diriger», la technologie de pointe dans le programme pilote pour Osez au premier
Au cours des années de recherche théorique et de vérification technique, la plate-forme d'application pratique et de production est sérieusement hors de la ligne, qui provient du système microélectromécanique recherche et développement de produits implique une longue chaîne de technologie, ses caractéristiques «non standard» font de l'innovation R & D Et le match entre la production n'est pas élevé, la nécessité d'une longue période de rodage.
Par la recherche et le développement pour tester «boucle fermée»
Le mois dernier, en tant que l'un des nœuds importants dans la construction des «quatre piliers» du Centre des sciences et de la technologie de Shanghai, la première ligne pilote chinoise de 8 pouces pour les systèmes microélectromécaniques était la première dans le domaine des semi-conducteurs. Field n'est pas un petit «tremblement de terre d'innovation» - du début de la recherche et du développement jusqu'à la fin du test, la «boucle fermée» devrait être terminée.
Un mois, sur la ligne pilote de Moore sur le très lumineux, les positions du personnel scientifique et technique avec des mesures pratiques pour répondre à la dix-neuvième tenue: la fin de ce mois est sur le point de compléter le premier lot de tension du capteur de température du produit. Production mensuelle de la ligne pilote de 3000 plaquettes, pour la plupart des laboratoires dans la technologie de pointe du capteur, la pose d'un marché à la «route brillante».