중국 아카데미 광학 및 파인 메카닉 연구소, 광전자 공학 연구소, Beijing 100083, China) 황화 아연 / 이테르븀 황화물 다층의 결함 밀도는 적외선 박막의 코팅 공정을 최적화함으로써 현저하게 감소되었습니다.
적외선 박막의 결함은 적외선 박막의 광학적 성질 및 안정성에 영향을 미치는 중요한 요소이며 국내외의 연구자들과 관련이 있습니다. 광전 연구팀은 증착 속도, 증착 온도 및 증착 방법을 최적화하여 다층 적외선 필름의 증착을 크게 줄였습니다 다층 적외선 막의 결함 밀도는 크기 순서로 감소되고, 결함 밀도가 낮은 164nm 고 반사율 막은 99.9 % 이상이고 흡수는 100ppm 미만이다.
