De nos jours, qu'il s'agisse de l'industrie ou de la vie quotidienne, tous doivent utiliser un grand nombre de composants de miroirs optiques, tels que certains équipements de découpe laser ou de numérisation, des équipements photographiques à haute résolution, des lunettes, etc. , Ce qui signifie que la précision et l'efficacité de l'instrument de détection utilisé pour détecter les paramètres des composants pertinents doivent également être améliorées.L'Institut de technologie de Beijing (ci-après dénommé le «Nord»), la précision et l'efficacité de l'ensemble de miroir, en particulier l'utilisation fréquente du miroir sphérique, Est le premier instrument au monde à effectuer simultanément des mesures de haute précision de l'optique sphérique. Il élimine non seulement le besoin d'acheter plusieurs instruments de mesure, mais élimine également le besoin d'une large gamme d'instruments de mesure. Réduit considérablement le temps nécessaire pour remplacer l'instrument en raison du remplacement de l'instrument. L'interféromètre laser de la série XL-80 de Lenny est l'un des composants essentiels de l'instrument de mesure pour fournir des données de mesure de longueur stables et fiables.
XL-80, XC-80 et capteurs
Table d'ajustement bidimensionnelle
Illustration de miroir sphérique
Principe de fonctionnement du système
Principe de fonctionnement
miroir sphérique (surface de la lentille est une portion de sphère) sont largement utilisés dans l'industrie, la recherche scientifique et dans d'autres domaines, en particulier procédé de fabrication de semi-conducteur, une machine de photolithographie, des systèmes d'imagerie de l'aérospatiale, les télescopes ont des exigences très strictes applicables aux composants optiques internes, chaque composant erreurs mineures de traitement sur la qualité d'image du système ont un grand impact. avant le développement réussi du différentiel Northern Polytechnic interféromètre laser confocale composants de l'instrument de mesure, ne permet pas de mesurer les paramètres pertinents de l'instrument en même temps sur le marché. Institut photoélectrique de Beijing Technology professeur Zhao Weiqian En expliquant la structure et le principe de fonctionnement de l'instrument de mesure, le professeur a déclaré: «Nous devrions personnaliser les instruments de mesure de différentes spécifications selon les besoins du client.Le mécanisme de base est principalement composé d'interférométrie confocale différentielle lentille, des paliers à air, crémaillère de réglage multi-dimensionnelle, des plates-formes mobiles et composition électromécanique interféromètre Renishaw laser XL-80. faisceau de mesure interférométrique confocal différentiel est émis à l'hôte de mesure mesurée dans un miroir à lentille standard et le point focal du polyéthylène, la lentille de l'échantillon À travers le cadre de réglage multidimensionnel est situé dans les rails de flottement de l'air, entraîné par la plate-forme de mouvement électromécanique et la lentille mesurée le long de l'axe optique Lorsque le point de convergence du faisceau mesuré coïncide avec le sommet de la surface frontale de la lentille ou la surface arrière de la lentille mesurée, le faisceau est réfléchi par la surface du miroir mesuré et renvoyé aux données pour analyse.L'interféromètre à faisceau laser (XL-80) Les données de position de la lentille.
Professeur Zhao Weiqian a déclaré: «L'objectif de la technologie est de la technologie de mesure confocale différentielle laser et de la technologie de mesure de l'interférence de face intégration organique, la conception et la construction d'un composant sphérique de l'objectif du système intégré de mesure des paramètres.Le système d'une part, La distance focale de la lentille, la distance focale, l'indice de réfraction, l'épaisseur et le jeu axial du groupe de miroir sont mesurés avec une grande précision. D'autre part, Interférométrie à décalage de phase pour obtenir une mesure de haute précision de la forme du composant. »Voici quelques paramètres typiques du principe de mesure:
l rayon de courbure - à travers le système confocal différentiel pour localiser avec précision la surface sphérique de la surface mesurée et le centre de la balle, calculer la distance entre ces deux points;
épaisseur de l / indice de réfraction - positionnement précis de la surface avant de la lentille de l'échantillon et le point d'intersection de l'axe optique, la mesure de la position du miroir et l'intersection de l'axe optique de la surface arrière de la lentille et la présence ou l'absence de l'essai, et ensuite utiliser la mesure de la position du miroir mesurée à l'avance et un miroir de mesure le rayon de courbure d'une surface sphérique de la lentille de l'échantillon de référence et de réflexion des surfaces de calcul de la trace de rayons effectuée par poursuite de côté, et ensuite mesure de haute précision de l'indice de réfraction et de l'épaisseur de la lentille de l'échantillon;
l surface de l'élément en forme - Forme surface système d'interférométrie à la réflexion des composantes d'interférence mesuré à décalage de phase du faisceau de référence mesurées pluralité d'images lumineuses arrière et le faisceau de référence formées par des algorithmes de traitement d'image interférence de déphasage pour obtenir le composant de surface mesurée Forme du visage
l distance focale - le positionnement précis de la mise au point de la lentille à mesurer, la mise au point de la lentille mesurée et la lentille mesurée après la distance du sommet;
intervalle l axial - mesuré le positionnement précis du sommet de la surface de la lentille de chaque groupe de lentilles, et puis en mesurant l'angle d'ouverture numérique de liaison de la poutre, l'indice de réfraction du rayon intérieur de courbure de la surface d'essai de chaque groupe de lentilles et chaque lentille par un procédé de traçage de rayon Obtenir le jeu axial entre les surfaces transmettant la lumière dans le groupe à mesurer.
Avantages du produit
L'industrie a longtemps été une variété de méthodes pour mesurer les paramètres de composants sphériques, certains domaines tels que la mesure de surface, les fabricants étrangers ont longtemps été une technologie très mature, le marché ne manque pas de mesure des paramètres individuels des équipements haut de gamme, principalement en Europe et aux États-Unis, mais le prix est très cher. Polytechnics a vu la nécessité d'améliorer l'efficacité de mesure dans l'industrie, développant ainsi des instruments de mesure connexes multifonctionnels et rentables. Les avantages de leur interféromètre confocal différentiel laser est qu'ils peuvent être simultanément sur le même instrument La mesure des paramètres, ce qui signifie que les utilisateurs peuvent réduire considérablement le coût d'achat de différents instruments, tout en réduisant le temps de remplacement de l'instrument pour réajuster le temps de sa mesure sans contact afin d'éviter l'extrusion ou la surface des composants du groupe de lentilles; Les principaux paramètres de l'instrument de mesure, y compris l'arbre flottant, l'établi multidimensionnel Et le guide linéaire et d'autres pièces mobiles de précision et l'hôte d'interférence confocal différentiel laser, etc., par la Polytechnique du Nord développement principal, un certain nombre de brevets nationaux. spécification de la précision du compteur d'un niveau international, la mesure d'une épaisseur d'environ erreur d'assemblage de groupe de lentilles de 5 mm seulement de 0,75 pm.
L'interféromètre laser Renishaw XL-80 largement reconnu dans l'industrie
Reneth conçoit, fabrique et livre des systèmes laser depuis plus de 25 ans et le XL-80 est l'aboutissement d'années d'expérience de conception et de fabrication de Renishaw, avec des performances opérationnelles et des avantages opérationnels majeurs. La série XL-80 est choisie car elle est l'un des rares interféromètres laser sur le marché à offrir à la fois précision et fiabilité. En effet, Renishaw est l'un des indicateurs les plus reconnus de la communauté internationale de mesure depuis des années, La tête laser XL-80 peut produire un faisceau laser très stable, la longueur d'onde peut être traçable aux normes nationales et internationales. Source laser précise et stable et compensation environnementale précise pour assurer que Précision de mesure linéaire de ± 0,5 ppm Jusqu'à 50 kHz, la plus grande vitesse de mesure linéaire jusqu'à 4 m / s, même à la résolution linéaire la plus élevée, atteint jusqu'à 1 nm. Les options (par ex. Les axes rotatifs) sont mesurées par interférométrie, donnant à l'utilisateur confiance dans la précision des données enregistrées.
L'interféromètre laser XL-80, en tant que composant central de l'instrument de mesure à composants sphériques, est également excellent en termes de compatibilité système, ce qui permet l'intégration des données de mesure avec le système client. La bibliothèque de liens dynamiques dédiée XL-80, les données en temps réel de l'interféromètre laser XL-80 intégré dans leur propre système. "Le professeur Zhao a poursuivi:" En fait, Fonction peut être des données de mesure en temps réel parfaitement intégré dans notre propre conception du logiciel d'analyse, laissez-nous dans le développement d'équipements personnalisés, la plus grande flexibilité.En outre, le processus de débogage de l'intégration du système aura inévitablement besoin de communiquer étroitement avec les fournisseurs, Renishaw a beaucoup fait dans le service après-vente, et les ingénieurs sont très disposés à prendre le temps de discuter avec nous des questions techniques pertinentes et de nous fournir des conseils précieux et professionnels.