Imec a publié un capteur de pression miniature à technologie de système de machine légère (MOMS)

Nano et Digital Technology Research and Innovation Centre, lors de la conférence médicale Imec technology forum, a publié un système de micro-lumière à base de technologie (MOMS) du capteur de pression. Le capteur peut être dans la grande plage de pression pour obtenir une excellente précision de mesure, Et a une interférence compacte, anti-électromagnétique (EMI) et d'autres fonctionnalités et fonctions multi-tâches, peut être utilisé pour des applications de détection de haute qualité, en particulier dans les sciences médicales et de la vie.

Les capteurs de pression sont utilisés pour mesurer des paramètres tels que la hauteur et la profondeur, ou pour la détection de flux de courant basé sur MEMS ou la technologie des fibres, ce qui est avantageux dans les deux sens. Les capteurs de pression MEMS sont très populaires en raison de bonnes performances et de petites dimensions. Les capteurs sont adaptés à des environnements difficiles et peuvent être caractérisés par des IME ou des températures élevées, mais ils sont moins intégrés, plus complexes et plus coûteux.

Le nouveau capteur de pression MOMS d'Imec combine les avantages des deux et a une grande précision. De plus, il présente une forte résistance aux interférences EMI et supporte le multiplexage. Les chercheurs d'Imec ont démontré un large éventail de rms ( rms) précision de moins de 1Pa, peut facilement atteindre 100kP.

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